| 含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头 |
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| 引用本文： | 樊玉铭,张国雄,高翔,裘祖荣,郭敬滨,张宏伟,李智,赵树忠.含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2005,38(5):405-410. |
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| 作者姓名： | 樊玉铭 张国雄 高翔 裘祖荣 郭敬滨 张宏伟 李智 赵树忠 |
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| 作者单位： | 国家精密测试技术与仪器重点实验室，国家精密测试技术与仪器重点实验室，国家精密测试技术与仪器重点实验室，国家精密测试技术与仪器重点实验室，国家精密测试技术与仪器重点实验室，国家精密测试技术与仪器重点实验室，国家精密测试技术与仪器重点实验室，国家精密测试技术与仪器重点实验室 天津大学，天津300072，天津大学，天津300072，天津大学，天津300072，天津大学，天津300072，天津大学，天津300072，天津大学，天津300072，天津大学，天津300072，天津大学，天津300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50075064) |
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| 摘 要： | 为了满足对机械件、光学件和电子件等几何形貌质量控制和产品监测越来越高的要求,在动态主动调焦法测量原理的基础上,提出一种含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头的检测方法.论述了该测头通过测量参考光路和测量光路的时间差实现位移测量的测量原理及其结构,并对这种新的测量方法进行了详细的误差分析,对该光学测头及其测量系统进行了各项实验.实验表明,含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头及其测量系统的测量范围为±0.1mm,测量分辨力为0.075μm,线性度误差约为0.45μm.
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| 关 键 词： | 光学测头 动态主动调焦法 调焦式时间差测量方法 |
| 文章编号： | 0493-2137(2005)05-0405-06 |
| 修稿时间： | 2003年12月12 |
Dynamic Confocal Optical Probe Based on Time Difference Measurement |
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| FAN Yu-ming,ZHANG Guo-xiong,GAO Xiang,QIU Zu-rong,GUO Jing-bin,ZHANG Hong-wei,LI Zhi,ZHAO Shu-zhong.Dynamic Confocal Optical Probe Based on Time Difference Measurement[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2005,38(5):405-410. |
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| Authors: | FAN Yu-ming ZHANG Guo-xiong GAO Xiang QIU Zu-rong GUO Jing-bin ZHANG Hong-wei LI Zhi ZHAO Shu-zhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical probe dynamic active confocal time difference confocal measuring method |
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