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| 选取基底函数进行干涉波面拟合的研究 | |
| 引用本文： | 田秀云,侯溪,费贤祥.选取基底函数进行干涉波面拟合的研究[J].科技信息,2007(13):163-163,172. |
| 作者姓名： | 田秀云 侯溪 费贤祥 |
| 作者单位： | 广东海洋大学 广东湛江524088(田秀云，费贤祥)，中科院光电技术研究所 四川成都610209(侯溪) |
| 摘 要： | 基底函数的选取直接影响干涉波面拟合精度。Zernike多项式拟合收敛好,精度高,提供有用信息多,成为利用干涉图获得被检表面信息的理论基础和根本出发点。依据光学系统光瞳和被检表面形状选择相应形式的Zernike多项式作为基底函数。 |
| 关 键 词： | 基底函数 干涉波面 Zernike多项式 拟合 |
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