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| PCVD过程中的等离子体诊断 | |
| 引用本文： | 林揆训,石旺舟,王洪,林璇英,姚若河,余楚迎. PCVD过程中的等离子体诊断[J]. 汕头大学学报(自然科学版), 1997, 0(1) |
| 作者姓名： | 林揆训 石旺舟 王洪 林璇英 姚若河 余楚迎 |
| 作者单位： | 汕头大学材料科学技术研究所，汕头大学物理学系 |
| 摘 要： | 本文综述了ＰＣＶＤ过程中等离子体各种粒子和基团的诊断技术和方法。结合我们的研究工作，着重分析诊断技术在发展过程中所碰到的难题及其解决办法和仍待解决的问题。 |
| 关 键 词： | 等离子体化学气相淀积，荷电粒子，中性基团，诊断技术 |
Plasma diagnostic techniques in PCVD |
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| Lin Kuixun Shi wangzhou Wang Hong.. Plasma diagnostic techniques in PCVD[J]. Journal of Shantou University(Natural Science Edition), 1997, 0(1) | |
| Authors: | Lin Kuixun Shi wangzhou Wang Hong. |
| Abstract: | In this paper ,we summarize the diagnostic techniques and methods of various charged particles and radicals and electrically neutral ones of plasma in the course of PCVD ,with emphasis on analysis of the difficulties and the ways to solve them by vari- ous diagnostic techniques based on our researches. Also , some existing problems that await solution are listed. |
| Keywords: | plasma chemical vapor deposition charged particle neutral radical diagnostic technique |
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