容栅传感器位移测量系统研究

本文介绍了容栅位移传感器的结构和工作原理,并在传统容栅传感器基本原理研究基础上,深入研究了鉴幅式容栅系统和鉴相式容栅系统信号激励方式和信号输出规律,分析开发出单片机和数字鉴相器为核心的鉴相式容栅高度测量仪。