微波共振探针优化 |
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引用本文: | 赵宝媛,朱芸桢,黎良玉,刘雅丽,徐金洲.微波共振探针优化[J].东华大学学报(自然科学版),2018(1). |
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作者姓名: | 赵宝媛 朱芸桢 黎良玉 刘雅丽 徐金洲 |
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作者单位: | 东华大学理学院; |
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摘 要: | 为提高微波共振探针测量气体放电等离子体参数的灵敏度,采用COMSOL软件仿真并比较近场场强与辐射的方法,优化了共振探针的几何结构以及探针与耦合线圈的最佳耦合位置。通过仿真模拟可知:具有臂长长和臂间距小的探针的品质因子相对较大;当耦合线圈与探针的摆放位置越近时,耦合效率高,但耦合线圈和探针的辐射也随之增强。提出屏蔽耦合线圈辐射的方法来获得更大的品质因子,仿真模拟和试验测量均表明上述方法具有可行性。
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