| InGaAs/InGaAsP超晶格薄膜导热系数测试 |
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| 作者姓名： | 陈震 杨决宽 庄苹 陈敏华 朱健 陈云飞 |
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| 作者单位： | 东南大学机械系,教育部MEMS重点实验室,南京,210096;中国电子科技集团第五十五研究所,南京,210096 |
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| 基金项目： | 致谢 感谢美国伊利诺斯大学Cahill教授和弗吉尼亚理工大学Huxtable教授在3ω实验方面给予的指导和建议.本工作为国家自然科学基金（批准号：50275026,50475077,50505007,50506008）、国家重点基础研究发展规划（编号：2006CB300404）、江苏省自然科学基金（批准号：BK2002060）、教育部博士点基金（批准号：20050286019）和新世纪优秀人才支持计划（编号：NCET-04-0470）资助项目. |
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| 摘 要： | 采用3ω方法在100~320 K温度范围内测试了不同周期长度的InGaAs/InGaAsP超晶格薄膜的导热系数. 结果表明对于周期性超晶格结构, 随着温度的升高, 热传导能力下降; 比较周期长度不同的超晶格结构的测试结果, 发现导热系数会随着周期长度的增大而减小, 并在某一周期长度取得最小值, 但随着周期长度的进一步增大, 导热系数又出现上升趋势, 表明在长周期超晶格结构中界面热阻是影响声子传输的主要因素. 理论计算表明, 对于短周期的超晶格结构, Bragg反射是造成产生最小值的原因之一, 由于声子穿透率的下降, 造成导热系数随着周期长度的增大而减小. 理论与实验研究结果表明, 随着周期长度的增大, 声子的传输规律由声子的波动性过渡到粒子性, 这对实现声子的剪裁具有重要意义, 为设计超晶格结构提供理论基础.
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| 关 键 词： | 3ω实验 导热系数 超晶格 薄膜 |
| 收稿时间： | 2005-05-31 |
| 修稿时间： | 2005-05-312006-02-28 |
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