氮掺杂氧化锌-氧化锌忆阻器突触可塑性研究

为了解决传统计算机中存储与运算之间的物理分离以及传输速度受限的问题，制备一种可用于神经形态计算的模拟型忆阻器，采用磁控溅射法在氧化铟锡导电玻璃衬底上依次完成氧化锌、氮掺杂氧化锌阻变层与银顶电极的沉积，对忆阻器的结构和电学性能进行表征、测试，并探究氮掺杂氧化锌薄膜厚度对忆阻器电学性能的影响。结果表明：制得的氮掺杂氧化锌-氧化锌忆阻器具有渐变式的电导切换行为，能够很好地模拟生物突触的可塑性，可用于神经形态计算；氮掺杂氧化锌薄膜厚度的增加有助于电学性能的稳定，减小氮掺杂氧化锌薄膜厚度，会显著增大电导响应的变化率。