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| 一种新型的声表面波有机气体检测方法￣① | |
| 作者姓名： | 戴恩光 冯冠平 何振华 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系(戴恩光，冯冠平)，中科院电子所传感技术重点实验室(何振华) |
| 摘 要： | 为进一步提高声表面波气体传感器的性能，这里研制一种全新的、采用声表面波谐振器的传感器。该种传感器与基于声表面波延迟线的传感器相比，具有低噪声和高灵敏度等特点。经实验验证，该方法为研制谐振式传感器提供了一个新的技术平台。 |
| 关 键 词： | SAW谐振器，SAW延迟线，传感器 |
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