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| SnO2薄膜元件的制备及其气敏特性研究 | |
| 作者姓名： | 龚炎芳 黄世震 林伟 |
| 作者单位： | 福州大学气体传感器研究所!福建福州350002 |
| 摘 要： | 采用溶胶一凝胶法,以氯化锡（ＳｎＣｌ２。）和无水乙醇为反应起始物,经过加热回流、热处理等工艺．制备出了掺硅和锑的氧化锡（ＳｎＯ２）气敏薄膜,并制成了气敏元件．元件性能测试表明．材料对Ｈ２具有较高的灵敏度和选择性、较好的响应一恢复特性和稳定性． |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 氧化锡 气敏薄膜 |
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