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常压下金刚石薄膜合成设备的开发
引用本文:沙风焕.常压下金刚石薄膜合成设备的开发[J].科技情报开发与经济,1998,8(2):41-42.
作者姓名:沙风焕
作者单位:太原理工大学化学工程系,030024,太原
摘    要:本文推荐了一种新的常压下合成金刚石薄膜的方法,重点介绍了该方法的实验设备、合成条件与实验结果

关 键 词:金刚石薄膜  实验设备  合成条件  双阴极辉光放电装置
修稿时间:1998-01-26

Development of Equipments for Synthesis of Diamond Membrane under Atmosphere
Abstract:
Keywords:diamond membrane  test equipment  synthetic condition  bicathode glow discharging unit
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