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常压下金刚石薄膜合成设备的开发
引用本文:
沙风焕.常压下金刚石薄膜合成设备的开发[J].科技情报开发与经济,1998,8(2):41-42.
作者姓名:
沙风焕
作者单位:
太原理工大学化学工程系,030024,太原
摘 要:
本文推荐了一种新的常压下合成金刚石薄膜的方法,重点介绍了该方法的实验设备、合成条件与实验结果
关 键 词:
金刚石薄膜
实验设备
合成条件
双阴极辉光放电装置
修稿时间:
1998-01-26
Development of Equipments for Synthesis of Diamond Membrane under Atmosphere
Abstract:
Keywords:
diamond membrane
test equipment
synthetic condition
bicathode glow discharging unit
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