| 气压对金刚石膜生长的影响 |
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| 引用本文： | 毕冬梅,赵利军,朱莉.气压对金刚石膜生长的影响[J].长春大学学报,2007,17(10M):24-26. |
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| 作者姓名： | 毕冬梅 赵利军 朱莉 |
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| 作者单位： | [1]长春大学理学院,吉林长春130022 [2]长春大学特殊教育学院,吉林长春130022 |
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| 基金项目： | 863项目（2002AA325090） |
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| 摘 要： | 采用电子铺助热灯丝化学气相沉积（EA-CA）方法沉积大面积金刚石膜，在金刚石膜的沉积过程中，气压对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman，SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
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| 关 键 词： | 金刚石膜 气压 膜的质量 |
| 文章编号： | 1009-3907（2007）05-0024-03 |
| 收稿时间： | 2007-05-18 |
Influence of the gas pressure on the growth of large area diamond film |
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| BI Dong-mei ,ZHAO Li-jun ,ZHU Li.Influence of the gas pressure on the growth of large area diamond film[J].Journal of Changchun University,2007,17(10M):24-26. |
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| Authors: | BI Dong-mei ZHAO Li-jun ZHU Li |
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| Institution: | 1. College of Science, Changchun University, Changchun 130022, China; 2. College of Special Education, Changchun University, Changchun 130022, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond film atmospheric pressure quality of diamond films |
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