用调制光反射方法测量薄膜的厚度

利用调制光反射技术对一系列不同厚度的二氧化硅薄膜进行了测量，在不同调制频率下检测样品的调制光反射相位信号。同时针对实验条件建立了三维理论模型，通过对实验曲线的最小方差拟合，推算出二氧化硅薄膜的厚度。