| K掺杂量对氧化锌薄膜晶体结构和光学性能的影响 |
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| 引用本文： | 王玉新,李真,王媛媛,赵帅,王磊,张巍.K掺杂量对氧化锌薄膜晶体结构和光学性能的影响[J].辽宁师范大学学报(自然科学版),2020,43(1):39-44. |
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| 作者姓名： | 王玉新 李真 王媛媛 赵帅 王磊 张巍 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学 物理与电子技术学院,辽宁 大连 116029 |
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| 基金项目： | 辽宁省教育厅科学技术研究项目 |
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| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶旋涂法(sol-gel)在玻璃衬底上制备了不同K掺杂量的K-N共掺ZnO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和光致发光谱(PL)对样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了表征.结果表明:与未掺杂样品相比,K-N元素共掺之后,薄膜结构仍保持六方纤锌矿型且沿c轴择优生长;随着K掺杂量的增加,样品的(002)衍射峰强度先增强后减弱,而对薄膜的紫外发光峰影响不大.当K掺杂量(原子比)为0.060时,晶粒尺寸最大,结晶性能最优,紫外发光峰强度相对较大.利用紫外-可见分光光度计对薄膜的光学透过率进行研究,结果表明不同K掺杂量的K-N共掺ZnO薄膜其光透过率没有明显变化,均维持在80%左右.
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| 关 键 词： | K掺杂 ZnO薄膜 透过率 光致发光谱 溶胶-凝胶法 |
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