应用Auger电子能谱仪研究清除GaAs表面碳沾污的有效方法

在制作ＧａＡｓ负亲和势光电阴极中。ＧａＡｓ表面碳的沾污往往严重地降低其光电产额。为了去 除ＧａＡｓ表面碳的污染,我们用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪对采用不同化学腐蚀处理的ＧａＡｓ表面进行分析 研究,证明在ＧａＡｓ表面有意形成一氧化膜并装进超高真空系统中加热到－５８０℃,对去除ＧａＡｓ 表面碳污染非常有效。