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| 双膜片的硅-蓝宝石高温压力传感器 | |
| 引用本文： | 张世荣,文彬,崔光浩.双膜片的硅-蓝宝石高温压力传感器[J].黑龙江大学自然科学学报,2001,18(4):56-58. |
| 作者姓名： | 张世荣 文彬 崔光浩 |
| 作者单位： | 信息产业部电子第四十九研究所七室, |
| 摘 要： | 介绍了用硅-蓝宝石材料制作的通过采用双膜片结构及真空高温烧结工艺制成的高温压力传感器,并利用电路温度补偿来提高传感器高温压力的测量精度.350℃下测得传感器的准确度为0.1%. |
| 关 键 词： | 硅-蓝宝石材料 双膜片结构 真空高温烧结 压力传感器 高温 |
| 文章编号： | 1001-7011(2001)04-0056-03 |
| 修稿时间： | 2001年4月8日 |
A kind of SOS high temperature pressure transducer with double membrance |
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