一种新型MEMS温度传感器的设计 |
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引用本文: | 陆婷婷,秦明,黄庆安.一种新型MEMS温度传感器的设计[J].科技通讯(上海),2008,14(1):223-226. |
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作者姓名: | 陆婷婷 秦明 黄庆安 |
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作者单位: | 南京东南大学MEMS实验室,南京210096 |
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摘 要: | 本文提出了一种新型的多层梁结构的电容式温度传感器。传感器结构部分是由导体(或半导体)/介质层/导体(或半导体)组成的可变电容器。电容的上下极板分别为金属和衬底硅,中间介质层为二氧化硅层。与传统的温度传感器相比,这种结构的测温范围较宽。文中,应用多层梁理论模型分析了传感器的结构,并利用ANSYS有限元分析对模型进行了验证。当多层梁材料参数已知的情况下,选用大面积,低厚度,能够最大限度的提高传感器性能。
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关 键 词: | 多层梁 电容式 温度传感器 |
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