交叉指电容的计算机辅助设计

本文用矩量法（ＭＯＭ）准确分析了单片微波集成电路（ＭＭＩＣ）中一种常用电容元件──交叉指电容（ＩＮＴＥＲＤＩＧＩＴＡＬＣＡＰＡＣＩＴＯＲ）的静态电容矩阵之后，再利用耦合微带线（阵）理论计算了其等效电感和损耗电阻，从而得到其Ｓ参数，经文献验证和实验验证，所得结果准确。