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| 一种单平面电极阵列结构的介质上电润湿数字微流控器件 | |
| 作者单位： | 复旦大学,微电子学系,专用集成电路及系统国家重点实验室,上海200433;复旦大学,微电子学系,专用集成电路及系统国家重点实验室,上海200433;复旦大学,微电子学系,专用集成电路及系统国家重点实验室,上海200433 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家科技重大专项 |
| 摘 要： | 一种高介电常数(K=7.6～11.6)的有机铁电聚合物材料——偏氟乙烯与三氟乙烯共聚物首次作为介质层用于介质上电润湿效应的数字微流控器件.在30 V的外加电压下,液滴与器件间的固-液接触角可以从118°下降到75°,并且呈现明显的电压极性相关性.基于此现象,设计并制作了新型的单平面电极阵列结构的数字微流控器件,简化了器件结构和工艺流程,整个工艺步骤可以与集成电路工艺兼容.新型器件成功实现了3μL的液滴的往返运输,工作电压只需20 V. |
| 关 键 词： | 介质上电润湿 数字微流控 偏氟乙烯与三氟乙烯共聚物 单平面电极阵列 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |