| 表面-微加工引论 |
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| 引用本文： | 吴永礼.表面-微加工引论[J].国外科技新书评介,2006(2):1-2. |
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| 作者姓名： | 吴永礼 |
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| 摘 要： | 本书全面论述表面一微加工技术的各个方面，把表面微加工的制造工艺、微尺度现象和设计数据与物理形状及功能联系在一起，并介绍具体元件的理论和设计。全书分为一个引言和四个部分（含6章），第1章引言。第一部分制造（含第2～3章），介绍微制造工艺和微加工技术。第二部分设计（含第4～8章），论述微尺度物理学、力学、设计工艺、非理想工艺和设计技术。
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| 关 键 词： | 微加工技术 表面微加工 微制造工艺 设计数据 物理形状 设计工艺 设计技术 微尺度 物理学 非理想 |
An Introduction to Surface-Micromachining |
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| Wu Yongli, Professor.An Introduction to Surface-Micromachining[J].Scientific & Technology Book Review,2006(2):1-2. |
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| Authors: | Wu Yongli Professor |
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| Institution: | Institute of Mechanics, the Chinese Academy of Sciences |
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