|
|||||
|
|
| 用脉冲准分子激光在P-Si(100)衬底上沉积高取向KTN薄膜 | |
| 作者姓名： | 马卫东() 王世敏() 张端明() 刘素铃() 王新兵() 徐启杨() 李再光() 田虎永() |
| 作者单位： | 华中理工大学物理系!武汉430074，华中理工大学物理系!武汉430074，华中理工大学物理系!武汉430074，华中理工大学物理系!武汉430074，华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉430074，华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉430074，华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉4300 |
| 基金项目： | 激光技术国家重点实验室基金资助项目 |
| 摘 要： | 利用Sol Gel法制备了优质KTN陶瓷靶材 ,用PLD技术成功地在P Si(10 0 )衬底上沉积出了较纯净钙钛矿相 (>98% )的KTN薄膜 ,并对所制备的薄膜进行了XRD ,SEM分析 |
| 关 键 词： | 薄膜 焦绿石相 钙钛矿相 脉冲激光沉积 KTN |
| 收稿时间： | 1997-06-28 |
| 修稿时间： | 1997-09-30 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《科学通报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《科学通报》下载全文 | |