| 用脉冲准分子激光在P-Si(100)衬底上沉积高取向KTN薄膜 |
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| 引用本文： | 马卫东.用脉冲准分子激光在P-Si(100)衬底上沉积高取向KTN薄膜[J].科学通报,1998,43(3):259-262. |
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| 作者姓名： | 马卫东 |
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| 作者单位： | 华中理工大学物理系!武汉430074，华中理工大学物理系!武汉430074，华中理工大学物理系!武汉430074，华中理工大学物理系!武汉430074，华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉430074，华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉430074，华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉4300 |
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| 基金项目： | 激光技术国家重点实验室基金资助项目 |
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| 摘 要： | 利用Sol Gel法制备了优质KTN陶瓷靶材 ,用PLD技术成功地在P Si(10 0 )衬底上沉积出了较纯净钙钛矿相 (>98% )的KTN薄膜 ,并对所制备的薄膜进行了XRD ,SEM分析
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| 关 键 词： | 薄膜 焦绿石相 钙钛矿相 脉冲激光沉积 KTN |
| 收稿时间： | 1997-06-28 |
| 修稿时间： | 1997-09-30 |
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