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| 纳米级微动试验台隔振理论研究 | |
| 作者姓名： | 刘平成 杨晓红 吴晓琳 杨圣 |
| 作者单位： | [1]盐城工学院机械工程系,江苏盐城224003 [2]南京航空航天大学506教研室,江苏南京210016 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(59875038) |
| 摘 要： | 隔振技术是纳米技术中的关键问题之一。通过二维隔振系统的力学分析,设计出了纳米级微动试验台的隔振系统。该系统具有良好的隔振效果,对超精密机床、超精定位机构等的超低传递率隔振设计有一定的参考价值。 |
| 关 键 词： | 纳米技术 微动试验台 传递率 隔振技术 二维力学模型 |
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