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Si上Bi2Sr2Ca1Cu2O7-x超导膜分形现象的AFM观察
引用本文:刘融,钱文生,魏同立.Si上Bi2Sr2Ca1Cu2O7-x超导膜分形现象的AFM观察[J].科学通报,1997,42(7):769-771.
作者姓名:刘融  钱文生  魏同立
作者单位:东南大学微电子中心!南京210096
摘    要:利用射频磁控溅射方法,在Si衬底上用YSZ(Y稳定的ZrO_2)作为缓冲层成功地淀积了Bi_2Sr_2Ca_1Cu_2O_(7-x)(BSCCO)超导膜,其零电阻温度T_c=82K.在利用原子力显微镜(AFM)和透射电子显微镜(TEM)作材料的表面形貌和微结构观察分析时,首次在BSCCO超导膜中观察到了分形晶化,并测得其分形维数d=1.795,本文报道了这一观察结果.

关 键 词:分形  BSCCO  薄膜  超导体    AFM
收稿时间:1996-06-17
修稿时间:1996-09-06
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