| 精密平面定位技术 |
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| 引用本文： | 张金龙,余玲玲,内田敬久,刘京南.精密平面定位技术[J].东南大学学报(自然科学版),2005,35(3):456-459. |
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| 作者姓名： | 张金龙 余玲玲 内田敬久 刘京南 |
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| 作者单位： | 东南大学自动控制系,南京,210096;南京师范大学电气与自动化工程学院,南京,210042;东南大学自动控制系,南京,210096;爱知工业大学智能机械工学科,日本丰田市,470-0392 |
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| 基金项目： | 江苏省高校自然科学基金 |
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| 摘 要： | 针对精密平面定位影响因素多、控制复杂及定位困难等问题,提出了一种新的精密平面定位方法,该方法采用激光莫尔技术,以上下2组100 μm的衍射光栅作为定位标记,通过微机闭环控制,可实现X-Y-θ三自由度的全自动精密平面定位.2组光栅相位相差180°,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位精度.系统在软、硬件方面采取的一系列抗干扰措施,确保了较高的定位精度及工作可靠性.实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米级的平面定位精度,对精密加工工程等领域具有重要的实用价值.
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| 关 键 词： | 平面定位 莫尔信号 差动技术 微机控制 |
| 文章编号： | 1001-0505(2005)03-0456-04 |
Research on precision plane positioning |
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| Zhang Jinlong,Yu Lingling,Yoshihisa Uchida,Liu Jingnan.Research on precision plane positioning[J].Journal of Southeast University(Natural Science Edition),2005,35(3):456-459. |
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| Authors: | Zhang Jinlong Yu Lingling Yoshihisa Uchida Liu Jingnan |
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