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硅中杂质,缺陷对器件制作与性能的影响及控制
引用本文:
胡耀祺.硅中杂质,缺陷对器件制作与性能的影响及控制[J].漳州师院学报,1994,8(4):105-110.
作者姓名:
胡耀祺
作者单位:
漳州电子技术研究所 漳州363000
摘 要:
本文针对硅中杂质、缺陷对器件制作和性能的影响进行研究,提出控制杂质与缺陷的不良影响和提高器件的成品率和优品率的途径。
关 键 词:
硅中杂质
缺陷
晶体管器件
控制
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