| 光学干涉位相移动法评价压电陶瓷响应曲线 |
| |
| 引用本文： | 张新阳,夏莉艳,周恒为.光学干涉位相移动法评价压电陶瓷响应曲线[J].伊犁师范学院学报(自然科学版),2009(1):25-29. |
| |
| 作者姓名： | 张新阳 夏莉艳 周恒为 |
| |
| 作者单位： | 伊犁师范学院物理与电子信息学院,新疆,伊宁,835000 |
| |
| 基金项目： | 日本筑波大学古田贝·伊藤实验室研究项目 |
| |
| 摘 要： | 压电陶瓷是具有压电效应的一种功能陶瓷，其随电压的微位移形变精度很高，在微技术领域应用广泛，响应曲线是评价压电陶瓷性能的主要指标。利用光学干涉的手段获得形变干涉图样，采用位相移动的方法从图样中解析出形变大小，从而获得压电陶瓷的实际响应曲线。
|
| 关 键 词： | 干涉 位相移动法 响应曲线 微位移 |
Evaluating Response Curves of PZT by Phase-shifting Method in Optical Interferometry |
| |
| ZHANG Xin-yang,XIA Li-yan,ZHOU Heng-wei.Evaluating Response Curves of PZT by Phase-shifting Method in Optical Interferometry[J].Journal of Ili Normal University,2009(1):25-29. |
| |
| Authors: | ZHANG Xin-yang XIA Li-yan ZHOU Heng-wei |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
