新型扫描电镜分辨率的蒙特卡罗模拟

用蒙特卡罗方法模拟计算了利用高能同轴背散射电子的扫描电子显微镜的空间分辨率，点源模型的模拟结果显示小的入射能量、探测能量窗口及探测角值对应较好的分辨率，对由两种不同元素构成的边界而言，模拟结果显示：好的分辨率对应较小的探测能量窗口和较大的探测角，最佳的入射能量是10keV。在合理优化电镜工作参数的前提下，最佳空间分辨率可达束斑大小的量级。