| PLD沉积DLC薄膜过程中碳等离子体的发射光谱特性 |
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| 引用本文： | 张磊,王秀凤,林晓东.PLD沉积DLC薄膜过程中碳等离子体的发射光谱特性[J].西南科技大学学报,2009,24(1). |
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| 作者姓名： | 张磊 王秀凤 林晓东 |
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| 作者单位： | 1. 广东药学院基础学院,广东广州,510006
2. 深圳大学物理学院,深圳,518060 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光沉积方法，通过改变脉冲激光能量在单晶硅衬底上制备了类金刚石薄膜，利用椭圆偏振光谱和拉曼光谱对得到的薄膜进行测试，并对沉积过程中的碳等离子体发射光谱进行了研究。薄膜测试结果表明，随着脉冲激光能量的增大，薄膜sp^3成分增多。沉积过程中的碳等离子体发射光谱原位监测表明，随着脉冲激光能量的增大，C、C^＋、C^2＋粒子发射光谱强度增强，根据应力模型薄膜sp^3成分增多，与薄膜测试结果一致。并且发现C^＋粒子在形成sp^3键过程中起到了非常重要的作用。
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积（PLD） 类金刚石薄膜（DLC） 等离子体发射光谱 脉冲激光能量 |
Plasma Spectral Characteristics in Pulsed Laser Deposition of Diamond Like Carbon Films |
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| ZHANG Lei,WANG Xiu-feng,LIN Xiao-dong.Plasma Spectral Characteristics in Pulsed Laser Deposition of Diamond Like Carbon Films[J].Journal of Southwest University of Science and Technology,2009,24(1). |
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| Authors: | ZHANG Lei WANG Xiu-feng LIN Xiao-dong |
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