316L钢+Al2O3金属陶瓷复合膜的制备与组织性能研究 |
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引用本文: | 邱秀丽,胡显奇.316L钢+Al2O3金属陶瓷复合膜的制备与组织性能研究[J].科技咨询导报,2006(1):12. |
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作者姓名: | 邱秀丽 胡显奇 |
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作者单位: | 邱秀丽(罗定职业技术学院,广东,罗定,527200)
胡显奇(深圳市黄金屋真空科技有限公司,广东,深圳,51800) |
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摘 要: | 用直流磁控溅射和射频磁控溅射共沉积在316L高速钢基体上制备了金属陶瓷复合薄膜.XRD检测表明,复合薄膜中主要以Fe-Cr相为主,并表现出较强的(110)和弱的(211)择优取向.SEM形貌分析显示,复合薄膜表面呈均匀颗粒状,断面形貌为明显的致密等轴晶结构,并具有良好的高温抗氧化性.硬度和耐磨性测试表明,复合薄膜的力学性能比316L块体的有明显改善.
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关 键 词: | 金属陶瓷复合膜 射频溅射R.F Al2O3 奥氏体不锈钢 |
文章编号: | 1673-0534(2006)08(a)-0012-02 |
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