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| 1nm级表面粗糙度的双频激光测量系统 | |
| 作者姓名： | 张新宝 李柱 谢铁邦 赵斌 |
| 作者单位： | 华中科技大学机械科学与工程学院;华中科技大学机械科学与工程学院;华中科技大学机械科学与工程学院;华中科技大学机械科学与工程学院 |
| 基金项目： | 国家“九五”重点攻关项目 ( 96 919 0 1 0 2 1),国家自然科学基金资助项目 ( 5 95 75 0 83 ) |
| 摘 要： | 研究了一种基于共外光路双频激光光外差原理的1nm级表面粗糙度的测量系统。从理论上论证了测定系统的原理和测量精度,并用实验结果证明了测量系统的分辨率。此测量系统没有测量基准误差,对测量环境要求不特别苛刻,适用于精密或超精密表面形貌的轮廓测量。 |
| 关 键 词： | 1nm级表面粗糙度 双频激光 共外光路 激光光外 差 |
| 文章编号： | 1000-8616(2001)11-0006-03 |
| 修稿时间： | 2000-11-12 |
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