| 1nm级表面粗糙度的双频激光测量系统 |
| |
| 引用本文： | 张新宝,李柱,谢铁邦,赵斌.1nm级表面粗糙度的双频激光测量系统[J].华中科技大学学报(自然科学版),2001,29(11):6-8. |
| |
| 作者姓名： | 张新宝 李柱 谢铁邦 赵斌 |
| |
| 作者单位： | 华中科技大学机械科学与工程学院 |
| |
| 基金项目： | 国家“九五”重点攻关项目 ( 96 919 0 1 0 2 1)，国家自然科学基金资助项目 ( 5 95 75 0 83 ) |
| |
| 摘 要： | 研究了一种基于共外光路双频激光光外差原理的1nm级表面粗糙度的测量系统。从理论上论证了测定系统的原理和测量精度，并用实验结果证明了测量系统的分辨率。此测量系统没有测量基准误差，对测量环境要求不特别苛刻，适用于精密或超精密表面形貌的轮廓测量。
|
| 关 键 词： | 1nm级表面粗糙度 双频激光 共外光路 激光光外差 轮廓测量 干涉原理 |
| 文章编号： | 1000-8616(2001)11-0006-03 |
| 修稿时间： | 2000年11月12 |
A New Profilometer with a Dual-frequency Laser for Measuring the Surface Roughness with 1?nm |
| |
| Zhang Xinbao,Li Zhu,Xie Tiebang,Zhao Bin.A New Profilometer with a Dual-frequency Laser for Measuring the Surface Roughness with 1?nm[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2001,29(11):6-8. |
| |
| Authors: | Zhang Xinbao Li Zhu Xie Tiebang Zhao Bin |
| |
| Institution: | Zhang Xinbao Li Zhu Xie Tiebang Zhao Bin |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | nm scale surface roughness dual frequency laser outside con beam laser DPC |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
