蒙特卡罗法模拟薄样品中低失能近轴背散射电子 |
| |
引用本文: | 蒋昌忠.蒙特卡罗法模拟薄样品中低失能近轴背散射电子[J].武汉大学学报(自然科学版),2001,47(1):91-94. |
| |
作者姓名: | 蒋昌忠 |
| |
作者单位: | 武汉大学物理科学与技术学院,湖北武汉430072 |
| |
摘 要: | 用蒙特卡罗方法模拟计算了样品中的高能同轴背散射电子的背散射率和厚度衬度。结果指出:用较大的探测能量窗口和大的探测角可在确保厚衬度的前提下增强信噪比,大的入射能量虽有利于厚度衬度,但不利于提高信噪比,薄膜沉积在异质衬底上的模拟结果显示,虽然背散射率中包含有衬底材料的信息,但还是膜层厚度的单调变化函,有可能通过凝散射率的测量来判定薄膜厚度。
|
关 键 词: | 扫描电子显微镜 同轴背反射电子 蒙特卡罗模拟 薄膜 背散射率 厚度衬度 信噪比 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|