| SnO2—ZnO薄膜的热处理效应 |
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| 引用本文： | 李蓉萍,敖玉琴.SnO2—ZnO薄膜的热处理效应[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1993,24(5):491-494. |
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| 作者姓名： | 李蓉萍 敖玉琴 |
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| 作者单位： | 内蒙古大学半导体能源实验室，内蒙古大学半导体能源实验室，内蒙古大学半导体能源实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学资金资助项目 |
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| 摘 要： | 用电子束蒸发的方法,在1.33×10~(-3)Pa的真空中蒸发SnO_2-ZnO陶瓷及掺杂荆,获得超微粒结构的SnO_2-ZnO薄膜,薄膜在氮气和氧气气氛中进行热处理。经热处理后,薄膜的结构、电学及光学性能得到改善。由这种薄膜制备的气敏元件,经掺杂和600℃热处理后,对乙醇气体有很高的灵敏度。
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| 关 键 词： | 薄膜 热处理 陶瓷 半导体 氧化锌 |
Thermal Treatment Effect of Thin-Film SnO_2-ZnO |
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| Li Rongping,Ao Yuqin,Ji Binghou Semiconductor Energy Laboratory.Thermal Treatment Effect of Thin-Film SnO_2-ZnO[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol,1993,24(5):491-494. |
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| Authors: | Li Rongping Ao Yuqin Ji Binghou Semiconductor Energy Laboratory |
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| Institution: | Li Rongping;Ao Yuqin;Ji Binghou Semiconductor Energy Laboratory |
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| Keywords: | film heat treatment ceramics gas sensitivity |
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