低压气相合成金刚石薄膜及其评价技术

50年代开始的高温高压法合成金刚石,使金刚石在机械工业及其有关方面得到了较为广泛的应用。从70年代开始,不少科学家又尝试用低压气相法合成金刚石,相继取得了成功。