| 微机电系统的发展 |
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| 引用本文： | 刘军营,楮金奎,朱向荣,韩光平. 微机电系统的发展[J]. 山东理工大学学报：自然科学版, 2003, 17(1): 107-110 |
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| 作者姓名： | 刘军营 楮金奎 朱向荣 韩光平 |
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| 作者单位： | 山东理工大学,机械工程学院,山东,淄博,255049;西安理工大学,陕西,西安,710048;西安理工大学,陕西,西安,710048;淄博市临淄热力公司,山东,淄博,255400 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目资助 (5 0 13 5 0 40 ) |
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| 摘 要： | 始于20世纪60年代的微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是21世纪的核心技术之一．介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件、微系统的种类和应用现状．
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| 关 键 词： | 微机电系统 微器件 微结构设计 LIGA |
| 文章编号： | 1007-1857(2003)01-0107-04 |
| 修稿时间： | 2002-11-25 |
Development of Microelectromechanical System |
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| LIU Jun ying ,,CHU Jin kui ,ZHU Xiang rong ,HAN Guang ping. Development of Microelectromechanical System[J]. Journal of Shandong University of Technology:Science and Technology, 2003, 17(1): 107-110 |
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| Authors: | LIU Jun ying CHU Jin kui ZHU Xiang rong HAN Guang ping |
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| Affiliation: | LIU Jun ying 1,2,CHU Jin kui 2,ZHU Xiang rong 3,HAN Guang ping 2 |
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| Abstract: | The microelectromechanical system(MEMS), which can be traced to 1960's, developes on the basis of microelectronics. It is one of key technologies in the 21st century and the scientific researches frontier of multi?disciplines. This paper introduces the MEMS's formation, development, basic research contents, fashional design and analysis software, applications of the basic manufacturing technology as well as the types and the current applications of micro apparatus and microsystem. |
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| Keywords: | microelectromechanical system micro apparatus micro structure design LIGA |
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