主轴刚度对超精密阵列微结构加工质量的影响规律研究

精密机械与精密仪器的表面常伴有阵列微结构,要求尺寸精度达亚微米级,表面粗糙度达纳米级,用快刀伺服加工辊筒表面上阵列微结构是一种高效加工方式,但加工质量的控制较难。通过分析超精密阵列微结构的特征,权释压电陶瓷驱动的快刀伺服器用于阵列微结构加工的优点,在设计和组建快刀伺服系统后,探索切削深度、主轴刚度等因素对加工精度的影响规律,检测工件的尺寸精度和表面粗糙度等,探索出有利于提高加工质量的工艺方法,为获得超精密阵列微结构提供工艺参数。