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| 低温反应射频溅射生长AIN膜 | |
| 引用本文： | 李兴教 ,徐则川 ,何自由 ,李其生 ,苏武大.低温反应射频溅射生长AIN膜[J].华中科技大学学报(自然科学版),1983(1). |
| 作者姓名： | 李兴教 徐则川 何自由 李其生 苏武大 |
| 摘 要： | 本文报导了用不加正交磁场的低温反应射频溅射生长C轴择优取向AIN多晶膜的方法,用该法在多种基片(特别是在镀铝玻璃片)上制得了择优取向的AIN多晶膜.文中还报导了用XRD与电镜测试AIN多晶膜的结果.初步分析了取向度和粒度大小与工艺条件的关系. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |