| 甲烷在硅底靶上吸附的计算机模拟研究 |
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| 引用本文： | 梁志辉,李之杰.甲烷在硅底靶上吸附的计算机模拟研究[J].内蒙古民族大学学报(自然科学版),2013(5). |
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| 作者姓名： | 梁志辉 李之杰 |
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| 作者单位： | 内蒙古民族大学物理与电子信息学院,内蒙古 通辽,028043 |
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| 基金项目： | 内蒙古民族大学资助项目(MDX2008028)；内蒙古民族大学创新团队资助项目 |
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| 摘 要： | 采用Tersoff和Brenner作用势，用分子动力学模拟方法，研究了甲烷入射到硅（001）-（2×1）表面的动力学过程。通过定点入射模拟计算出6个代表点的吸附阈值，分析了多种吸附结构。计算了随机入射的吸附概率。讨论了入射位置以及甲烷荷能大小对吸附结构的影响。
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| 关 键 词： | 甲烷 硅底靶 吸附 类金刚石 |
Computer Simulation of Chemisorptions of Methane on Silicon Substrate Surface |
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| LIANG Zhi-hui
,
LI Zhi-jie.Computer Simulation of Chemisorptions of Methane on Silicon Substrate Surface[J].Journal of Inner Mongolia University for the Nationalities(Natural Sciences),2013(5). |
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| Authors: | LIANG Zhi-hui LI Zhi-jie |
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| Institution: | LIANG Zhi-hui LI Zhi-jie |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Methane Silicon substrate Sorption Diamond-like Carbon |
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