| 基于金属电化学腐蚀的单晶SiC表面腐蚀和磨损性能研究 |
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| 引用本文： | 胡达,路家斌,?,阎秋生,骆应荣,雒梓源.基于金属电化学腐蚀的单晶SiC表面腐蚀和磨损性能研究[J].湖南大学学报(自然科学版),2024(4):123-131. |
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| 作者姓名： | 胡达 路家斌 ? 阎秋生 骆应荣 雒梓源 |
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| 作者单位： | （1.广东工业大学 机电工程学院，广东 广州 510006；
2.高性能工具全国重点实验室，广东 广州 510006） |
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| 摘 要： | 针对化学机械抛光中抛光液的环境污染，提出一种基于金属电化学腐蚀的单晶SiC化学机械抛光方法. 通过腐蚀实验和摩擦磨损实验，研究了电化学腐蚀单晶SiC的Si面腐蚀性能和磨损性能. 通过对比Al、Cu、Fe金属在Na2SO4电解质溶液中对Si面的腐蚀性能，发现Al在Si面产生明显的腐蚀层，EDS和XPS检测证实该腐蚀产物为SiO2. 采用摩擦磨损实验研究溶液组分对SiC的Si面磨损影响规律. 结果表明，提高Na2SO4电解质溶液浓度能获得更大的磨损量，当Na2SO4电解质溶液浓度为1.00 mol/L时，得到最大为7.19 μm2的磨损量；在酸性的金属电化学腐蚀溶液中，Si面具有更好的材料去除性能，在pH=3时磨损量达到11.97 μm2. 单晶SiC的金属电化学腐蚀材料去除机制为阴极的Al金属发生电偶腐蚀反应产生腐蚀电流，促使阳极SiC表面氧化生成SiO2氧化层，进而去除材料.
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| 关 键 词： | 化学机械抛光 单晶SiC 金属电化学腐蚀 腐蚀性能 磨损性能 |
Study on Surface Corrosion and Wear Performance of Single-crystal SiC Based on Metal Electrochemical Corrosion |
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| HU D,LU Jiabin,?,YAN Qiusheng,LUO Yingrong,LUO Ziyuan.Study on Surface Corrosion and Wear Performance of Single-crystal SiC Based on Metal Electrochemical Corrosion[J].Journal of Hunan University(Naturnal Science),2024(4):123-131. |
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| Authors: | HU D LU Jiabin ? YAN Qiusheng LUO Yingrong LUO Ziyuan |
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