用Sol-gel方法成功地研制出PLT和BT薄膜

我校固体电子学系特种陶瓷薄膜科研组,用溶胶-凝胶(Sol-gel)方法,在SrTiO_3,MgO单晶基片上制备出钙钛矿型结构的(Pb_(1-x)La_x)_(1-x)/4O_3(简称PLT)和BaTiO_3(简称BT)外延生长薄膜。它们是(100)PLT∥(100)SrTiO_3,(100)PLT∥(100)(MgO)和(110)BT∥(110)SrTiO_3,(100)BT∥(100)MgO。在Si单晶和石英玻璃基片上制备出钙钛矿型结构的多晶薄膜。用Sol-gel方法制备PLT外延及陶瓷薄膜和BT外延生长薄膜,现国内外尚未见报道。