| 沉积厚度对L10-FePt薄膜(001)织构和磁性的影响 |
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| 引用本文： | 徐健,陈芳慧,张玉梅,刘梅,李海波.沉积厚度对L10-FePt薄膜(001)织构和磁性的影响[J].吉林大学学报(理学版),2013,51(6):1143-1147. |
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| 作者姓名： | 徐健 陈芳慧 张玉梅 刘梅 李海波 |
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| 作者单位： | 吉林师范大学 功能材料物理与化学教育部重点实验室, 吉林 四平 136000 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射方法在表面氧化的Si(001)基片上制备不同厚度的FePt薄膜, 并利用原子力显微镜(AFM)、 X射线衍射(XRD)和振动样品磁强计(VSM)表征样品的形貌、结构和磁性. 结果表明: 将薄膜样品在H2气氛中经600 ℃退火1 h, 得到了L10-FePt薄膜; 薄膜具有(001)织构或明显的(001)取向生长, 随着沉积厚度
的增加, FePt的晶粒尺寸变大, 样品的有序化程度增大, (001)取向生长呈减弱的趋势； 样品均具有明显的垂直磁各向异性, 随着薄膜厚度的增加, 平行膜面矫顽力增大, 垂直膜面矫顽力先增大后减小, 当沉积厚度为10 nm时, 样品的垂直磁各向异性最佳.
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| 关 键 词： | FePt薄膜 厚度 织构 磁性 |
| 收稿时间： | 2013-03-23 |
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