| 检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪 |
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| 引用本文： | 张红霞,张以谟,井文才,周革,李岩.检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2005,38(5):377-380. |
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| 作者姓名： | 张红霞 张以谟 井文才 周革 李岩 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津大学精密仪器与光电子工程学院 光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300072，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300072，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300072，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300072，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60377031)，973计划资助项目(2003CB314907) |
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| 摘 要： | 基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm.
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| 关 键 词： | Mirau干涉 相移干涉轮廓仪 Mirau干涉物镜 光纤连接器 压电陶瓷传感器 |
| 文章编号： | 0493-2137(2005)05-0377-04 |
| 修稿时间： | 2004年1月12日 |
Mirau Phase-Shifting Interferometer for Microsurface Topography Measurement |
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| ZHANG Hong-xia,ZHANG Yi-mo,JING Wen-cai,ZHOU Ge,LI Yan.Mirau Phase-Shifting Interferometer for Microsurface Topography Measurement[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2005,38(5):377-380. |
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| Authors: | ZHANG Hong-xia ZHANG Yi-mo JING Wen-cai ZHOU Ge LI Yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Mirau interference phase-shifting interferometer Mirau interference objective optic fiber connector piezoelectric transducer |
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