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染料旋涂工艺中的挥发和流动
引用本文:岳宏达,潘龙法,徐端颐.染料旋涂工艺中的挥发和流动[J].清华大学学报(自然科学版),2004,44(2):174-177.
作者姓名:岳宏达  潘龙法  徐端颐
作者单位:清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
基金项目:国家 "九七三" 重点基础研究项目 (G19990330)
摘    要:染料旋涂是高密度可录光盘复制工艺中的核心部分,其流体流动的力学机制分析属于旋转圆盘系统理论的最新进展,文中分析了染料旋涂中复合溶剂的挥发对流体流动的影响.利用牛顿流体旋涂模型和旋涂溶剂挥发模型进行仿真实验,并对过渡点位置进行修正.依托实际光盘复制生产线进行离线旋涂实验.根据仿真实验和生产线旋涂实验提出染料旋涂的工艺模型 无溶剂挥发、无流体流动的下料阶段; 无溶剂挥发、有流体流动的扩散阶段; 有溶剂挥发、无流体流动的甩干阶段.利用工艺模型优化染料旋涂工艺,实现生产线的闭环控制.

关 键 词:染料旋涂  旋转圆盘  流动机制  溶剂挥发  工艺模型
文章编号:1000-0054(2004)02-0174-04
修稿时间:2003年2月24日

Evaporation and flow in the dye coating process
Abstract:
Keywords:dye coating  rotating disk  flow mechanism  solvent evaporation  process model
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