| 锐钛矿纳米晶粒TiO2薄膜的制备及分析 |
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| 引用本文： | 张辉军,邱成军.锐钛矿纳米晶粒TiO2薄膜的制备及分析[J].黑龙江大学自然科学学报,2005,22(1):103-106. |
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| 作者姓名： | 张辉军 邱成军 |
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| 作者单位： | 黑龙江大学,集成电路重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150080 |
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| 基金项目： | 黑龙江省教育厅计划项目(10531129) |
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| 摘 要： | 以金属钛为靶材,采用射频磁控溅射方法制备纳米晶粒TiO2薄膜.利用扫描电镜、紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪研究不同热处理温度下制备的纳米晶粒TiO2薄膜的结构及表面形貌.实验结果显示,用射频磁控溅射得到的纳米晶粒TiO2薄膜与衬底结合紧密,薄膜表面致密、平整,经550℃晶化的纳米晶粒TiO2薄膜为均一的锐钛矿相,具有良好的紫外光吸收率.
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| 关 键 词： | 纳米晶粒TiO2薄膜 射频磁控溅射 晶化 锐钛矿相 金红石相 |
| 文章编号： | 1001-7011(2005)01-0103-04 |
| 修稿时间： | 2004年8月24日 |
Preparation and analysis of anatase Phase nano -grain TiO2 thin film |
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| ZHANG Hui-jun,QIU Cheng-jun.Preparation and analysis of anatase Phase nano -grain TiO2 thin film[J].Journal of Natural Science of Heilongjiang University,2005,22(1):103-106. |
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| Authors: | ZHANG Hui-jun QIU Cheng-jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nano-grain TiO_2 thin film magnetron sputtering crystallization anatase phase rutile phase |
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