| 纳米铝表面超薄氧化层厚度的表征研究 |
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| 引用本文： | 吴旌贺,李永,史小波,赵先林.纳米铝表面超薄氧化层厚度的表征研究[J].河南教育学院学报(自然科学版),2010,19(4). |
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| 作者姓名： | 吴旌贺 李永 史小波 赵先林 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，河南省教育厅自然科学基金 |
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| 摘 要： | 对于氧化层厚度的精确测量,尤其是小于10 nm的超薄氧化层的测量有一定难度.介绍了一种根据XPS图谱中氧化态和金属态的相对强度计算超薄氧化铝厚度的方法,并结合高分辨透射电镜、X射线衍射仪等多种表征手段进行验证.结果表明该方法具有简单、准确等优点.
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| 关 键 词： | 纳米铝粉 表征方法 Al2O3薄膜 厚度测量 |
Characterization Study on the Thickness of Ultrathin Oxide Layer Over Nanoaluminum |
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| WU Jing-he,LI Yong,SHI Xiao-bo,ZHAO Xian-lin.Characterization Study on the Thickness of Ultrathin Oxide Layer Over Nanoaluminum[J].Journal of Henan Education Institute(Natural Science Edition),2010,19(4). |
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| Authors: | WU Jing-he LI Yong SHI Xiao-bo ZHAO Xian-lin |
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