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离子交换玻璃波导1×4光功分器的研制
引用本文:周自刚,廖旭,任学藻,胡小俊,段旭梅. 离子交换玻璃波导1×4光功分器的研制[J]. 西南科技大学学报, 2006, 21(1): 80-82
作者姓名:周自刚  廖旭  任学藻  胡小俊  段旭梅
作者单位:西南科技大学理学院,四川,绵阳,621010
摘    要:
详细介绍了Tl -Na 离子交换制备玻璃波导1×4功分器的工艺制作过程。首先采用BPM软件设计波导光路图,设计并制作出具有10μm和20μm两种线宽的1×4模板,加工出3.5 cm×1.5 cm×0.5 cm基底玻璃板。然后按照工艺在玻璃面上镀上1μm厚度的钛膜。依照母板模型对基底玻璃板进行光刻,得到理想对称S形状的钛膜窗口。在480℃交换温度下,把基底玻璃板放在Tl2SO4,ZnSO4的混合熔液中经过10 h的交换。一块低损耗S型多模光波导功分器形成。接着经过研磨、抛光等工艺制作出体积小、操作方便、性能稳定、光损伤小和与光纤匹配的光功分器样品。

关 键 词:光波导  功分器  离子交换  玻璃
文章编号:1671-8755(2006)01-0080-03
收稿时间:2005-12-15
修稿时间:2005-12-15

Manufacture of 1×4 Optical Splitter in Glass Waveguide by Ion-exchange Technology
Zhou Zigang,Liao Xu,Ren Xuezao,Hu Xiaojun,Duan Xumei. Manufacture of 1×4 Optical Splitter in Glass Waveguide by Ion-exchange Technology[J]. Journal of Southwest University of Science and Technology, 2006, 21(1): 80-82
Authors:Zhou Zigang  Liao Xu  Ren Xuezao  Hu Xiaojun  Duan Xumei
Abstract:
Keywords:optical waveguide  optical splitter  ion - exchange  glass
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