| 固溶体技术用于AlN-SiC微波衰减材料改性 |
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| 引用本文： | 步文博,丘泰,徐洁,李晓云,沈春英.固溶体技术用于AlN-SiC微波衰减材料改性[J].南京工业大学学报(自然科学版),2002,24(3):10-14. |
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| 作者姓名： | 步文博 丘泰 徐洁 李晓云 沈春英 |
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| 作者单位： | 南京工业大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,210009 |
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| 基金项目： | 国防科工委重点科研项目 |
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| 摘 要： | 结合AlN-SiC二元系相图的理论分析，提出了利用固溶体技术实现AlN-SiC微波衰减材料性能优化的研究思路；采用热压烧结工艺，通过合理的烧结温度及保温时间的控制，制备了性能优异的AlN-SiC微波衰减材料。通过XRD、SEM、网络分析仪等测试手段，研究了材料的显微结构（晶粒尺寸和晶粒形状等）对材料微波衰减性能的影响。结果表明，AlN-SiC局部固溶体具有广频衰减特性，而AlN-SiC均质固溶体具有选频衰减特性；并初步探讨了AlN-SiC固溶体陶瓷的微波衰减机理。
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| 关 键 词： | AlN SiC 微波衰减 固溶体技术 半导体器件 优化改性 碳化硅 氮化铝 复相陶瓷 |
| 文章编号： | 1671-7643(2002)03-0010-05 |
| 修稿时间： | 2001年12月4日 |
Modification of microwave attenuation of AlN-SiC with solid solution technique |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AlN SiC |
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