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| 异质外延单晶金刚石的研究进展 | |
| 作者姓名： | 代兵 刘康 刘本建 房诗舒 朱嘉琦 李一村 杨世林 杨磊 王伟华 王杨 舒国阳 赵继文 韩杰才 |
| 摘 要： | 单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工-艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果为基础,对该领域多年来的发展历程、最新进展开展评述,主要涉及偏压增强形核技术及晶种处... |
| 关 键 词： | 异质外延 单晶金刚石 Ir复合衬底 大尺寸 横向外延过度生长 离轴衬底生长 |