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| 碲镉汞纳米材料与器件的LBIC检测技术 | |
| 作者姓名： | 贾嘉 龚海梅 李向阳 |
| 作者单位： | [1]中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 [2]上海 |
| 摘 要： | 介绍一种可用于红外碲镉汞(HgCdTe)材料与器件研究的高分辨率、无损伤光学检测方法——激光诱导电流(LBIC)技术.该技术可以描绘出碲锅汞薄膜材料中具有电活性的缺陷分布图,也可以无须为列阵中的每个像元制作电极就用于探测器像元的检测.利用得到的数据可以推算出p-n结的扩散长度、结深和探测器的品质因子(R0A)及均匀性等许多参数.给出了碲镉汞一些典型参量的LBIC理论与实验结果,说明LBIC检测技术对碲镉汞材料与器件的特性表征起到了十分重要的作用. |
| 关 键 词： | LBIC技术 碲镉汞材料与器件 纳米级 |
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