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多温区空间晶体生长炉的解耦预测控制研究
引用本文:于强,王刚,秦琳琳,郑涛,吕旭涛.多温区空间晶体生长炉的解耦预测控制研究[J].系统仿真学报,2010,22(8).
作者姓名:于强  王刚  秦琳琳  郑涛  吕旭涛
作者单位:1. 中国科学院空间科学与应用研究中心,北京,100190
2. 中国科学技术大学自动化系,合肥,230027
摘    要:通过传热机理分析,推导出了多温区晶体生长炉的简化线性模型,使用递推最小二乘法辨识了模型参数.研究了解耦预测控制,改进了预测控制性能指标的选取方法,不需要在线调节前馈增益矩阵,提高了控制的实时性.对系统进行控制仿真,结果表明,该控制方法具有良好的控制精度,为该方法的实际应用奠定了基础.

关 键 词:多温区晶体生长炉  机理建模  解耦控制  预测控制

On Decoupling Predictive Control of Multi-zone Furnace for Space Crystal Growth
YU Qiang,WANG Gang,QIN Lin-lin,ZHENG Tao,LV Xu-tao.On Decoupling Predictive Control of Multi-zone Furnace for Space Crystal Growth[J].Journal of System Simulation,2010,22(8).
Authors:YU Qiang  WANG Gang  QIN Lin-lin  ZHENG Tao  LV Xu-tao
Abstract:
Keywords:
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